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民國元年（1912），五原廳改縣，仍統(tǒng)領(lǐng)今臨河區(qū)境。民國14年（1925）9月14日，國民政府內(nèi)務(wù)部批準(zhǔn)，設(shè)置臨河設(shè)治局，析五原縣豐濟(jì)渠以西為其行政區(qū)域，駐永濟(jì)鎮(zhèn)。民國18年（1929）1月21日，國民政府行政院內(nèi)務(wù)部核準(zhǔn)，將臨河設(shè)治局改設(shè)臨河縣，隸屬綏遠(yuǎn)省。民國31年（1942），綏遠(yuǎn)省在后套實(shí)行“新縣制”，劃出臨河縣西部北部地和西南部地區(qū)設(shè)置米倉縣（今三道橋）；劃出臨河縣北部和東部地區(qū)設(shè)置狼山縣（今狼山鎮(zhèn)）；在陜壩地區(qū)設(shè)立陜壩市政籌備處（縣級）。民國34年（1945）9月，臨河縣隸屬綏遠(yuǎn)省在陜壩設(shè)置的綏西專員公署。